作者:李自学; 任爱华; 鲍鹏; 刘亚强; 李红丽; ...厚膜高可靠混合集成
摘要:介绍采用先进厚膜混合集成工艺制造的高可靠DC/DC电源变换器,包括厚膜导体复合结构、高可靠粘结工艺、等离子体清洗工艺、深腔键合工艺、Cu丝漆包线点焊工艺和平行缝焊结构等许多新工艺、新材料和新技术,此类电源变换器的电性能优良,可靠性高,气密性指标(漏气率)可达5×10^-4kPa·cm^3/s,丝焊的键合强度和剪切强度均满足GJB548A的要求,完全适用于航天、弹、箭、星、船和舰等各类型号的电源变换。
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