作者：牛健宗; 刘彦宁; 周佩珩红外吸波材料柔性红外吸波材料谐振吸收光刻工艺电子束蒸发镀膜工艺剥离工艺
摘要：当今红外吸波材料在红外热成像、红外探测、红外致冷等方面都有广泛的应用。并且随着微细加工工艺的进步,红外吸波材料正在向着柔性方向发展。传统柔性红外吸波材料在制备过程中工艺繁琐,本文利用磁谐振机理设计了一种柔性红外吸波结构材料,并使用CST软件模拟分析该材料结构的参数对吸波效果的影响。结合光刻工艺、电子束蒸发镀膜工艺和剥离工艺制备了这种柔性红外吸波材料,该设计方案能够简化传统柔性红外吸波材料的制备工艺。最后使用扫描电子显微镜和光学显微镜对柔性红外吸波材料进行形貌测试,并且利用红外光谱仪对柔性红外吸波材料进行红外吸收性能测试。结果表明：使用该种方案制备的柔性红外吸波材料在9.4μm处具有82%的吸收效率,与仿真结果吻合。
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