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3D封装中电镀参数对微凸点制备的影响

作者:梁晓波; 李晓延; 姚鹏; 李扬; 金凤阳3d封装微凸点酸性电镀电镀参数表面状态镀层厚度

摘要:电子信息技术对封装焊点提出了高密度、高质量、小尺寸、低成本的要求,在此基础上,由二维平面到三维高度上的封装技术应运而生。微凸点的制备是3D封装中非常重要的一个环节。本文通过酸性环境电镀的方法在Cu基板沉积微米级别的Sn层,通过扫描电子显微镜和原子力显微镜观察不同参数下镀层的表面状态,研究分析了电镀参数对镀层表面的影响规律,并得到了不同电镀时间与镀层厚度的关系。最终得到制备质量较高Sn层的最优电镀参数为:硫酸浓度160g/L,环境温度25℃,电流密度为1A/dm2。通过金相法及台阶仪测试法分别测量不同电镀时间镀层的厚度可知,镀层厚度与电镀时间呈正比。

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电子元件与材料

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