作者：叶楠 陈长春azo薄膜梯度掺杂分层退火
摘要：用sol-gel法在玻璃基片上分别制备了不同Al浓度掺杂和Al梯度掺杂的掺铝氧化锌（AZO）薄膜,并研究了分层退火和一次性退火对薄膜结构和性能的影响。结果表明：梯度掺杂与分层退火都能促进薄膜的（002）择优取向。Al掺杂摩尔分数为1.5%的薄膜和经分层退火处理的Al梯度掺杂的薄膜在395 nm处均有很强的紫外发射峰,但经一次性退火处理的Al梯度掺杂的薄膜的紫外发射峰却较弱。所有薄膜在可见光范围内的透光率都在90%以上。
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