作者：陈宏伟; 杨传仁; 符春林; 高志强; 赵莉无机非金属材料bst薄膜膜厚铁电性能
摘要：采用射频磁控溅射法制备了Ba.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,研究了不同膜厚的BST薄膜的介电偏压特性曲线和电滞回线.结果表明,当膜厚从250 nm增加到650 nm时,BST薄膜的?r、?r的电压变化率和最大极化强度分别从195,9%,4.7×10-6C/cm2逐渐增加到1 543,19%,30×10-6C/cm2,而矫顽场强随膜厚的变化较复杂.进一步分析发现,膜厚通过影响矫顽场强和最大极化强度进而影响铁电薄膜的电压非线性.
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