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叉指形电极压电驱动器性能分析

作者:刘永刚; 陈勇; 沈星电子技术压电驱动器电极型式驱动性能有限元正交异性

摘要:分析了叉指形电极压电驱动器的结构特点和电场结构.给出了压电驱动器的本构方程,建立了叉指形电极压电驱动器的有限元模型,研究了指形电极关键尺寸和压电片厚度尺寸对驱动器应力、应变的影响,对比分析了普通电极压电驱动器的应力和应变性能.研究结果表明:叉指形电极压电驱动器比普通电极压电驱动器驱动应力大,最大可以高达5倍;具有明显的正交异性,横向效应系数为-2.16;减小电极中心距和压电片厚度能提高驱动器性能.

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电子元件与材料

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