作者：方瑜; 肖定全; 袁小武; 于光龙; 卢苇; 朱...无机非金属材料bst薄膜微结构
摘要：采用改进的溶胶-凝胶(sol-gel)工艺配制了(Ba0.65,Sr0.35)TiO3(BST)溶胶.利用旋转涂覆工艺将BST溶胶涂覆在SiO2/Si衬底上,在不同的热处理条件下制备出BST薄膜.XRD分析结果表明:制得的BST薄膜形成了单一钙钛矿结构;AFM测试结果表明,BST薄膜表面平整致密,无裂纹.表面均方根粗糙度为3～6nm,晶粒大小分布均匀,直径约为40～100 nm.随着热处理温度的提高,BST薄膜的晶粒变大,表面粗糙度变大.
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