作者：张建; 巴维真; 陈朝阳; 崔志明; 蔡志军; ...掺锰热敏特性正温度系数负温度系数导电类型硅材料单晶硅
摘要：采用电阻率为5 Ω·cm的p型单晶硅和n型单晶硅,通过高温扩散金属锰的方法,可得到两种类型的热敏材料.测试发现,选择适当的扩散温度和时间,这两种类型的热敏材料一致性都较好.对n型硅掺锰,得到的是小正温度系数热敏材料,其8值在620 K左右;对p硅掺锰,得到的是负温度系数热敏材料,其B值在4 200～4300K之间.
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