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EBSD花样的图像畸变及其修正

作者:庞年斌 韩明 陈晶 陈方远 于忠辉 尹文红电子背散射衍射衍射花样菊池花样图像畸变

摘要:EBSD花样存在图像畸变,使得由其三维重构解析晶体Bravais点阵变得困难。本文详细介绍了EBSD衍射数据几何修正的方法:利用样品到屏幕的距离,由EBSD花样上的衍射数据修正晶体倒易矢量的长度及其夹角。使用透辉石晶体的EBSD花样,验证了几何修正的效果,结果表明衍射测量数据经过修正并用最小二乘法重新拟合后,倒易矢量偏离二维拟合网格的程度降低,其分布更接近真实情况。

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