复杂形貌试样的扫描电镜成像衬度模拟

作者：王昊彦; 李会民; 丁泽军模拟计算形貌像试样扫描电镜衬度扫描电子显微学carlo方法背散射电子

摘要：Monte Carlo方法可用于模拟计算扫描电子显微学中材料的表面形貌像衬度，通过模拟电子在试样内部和表面附近的散射和输运过程，从而得到二次电子和背散射电子的信号，它们既反映了试样的表面形貌特征，在一定程度上还表征了试样的内部成分和结构差异。

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