声表器件压电单晶基片表面损伤的电子显微研究

作者：荣丽梅; 常嗣和; 杨谟华表面损伤压电单晶等电子显微研究基片器件空中交通管制加工过程

摘要：声表面波(SAW)器件是雷达、通信、空中交通管制、导航等电子通讯系统中的关键部件.SAW所用的压电晶片需要经过单晶切割、研磨、抛光处理,这些加工过程会引起晶片表面损伤.

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