Ta2O5高温相结构

作者：刘显强; 韩晓东; 张泽; 季凌飞; 蒋毅坚ta2o5相结构高温相半导体工业介电系数光电子元器件单晶材料电子显微学单位面积

摘要：半导体工业致力于在单位面积/体积上铺满更多的结构以期得到更高密度、更快运算速度的光电子元器件.寻找高介电系数物质是半导体工业达到上述目标的必经之路.Ta2O5系氧化物是重要的高介电系数物质候选材料之一.

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