纳米多层膜中晶体生长的互促效应

作者：劳技军; 曹章轶; 孔明; 董云杉; 李戈扬纳米多层膜晶体生长互促效应碳化硅材料晶体结构分析

摘要：由两种材料以纳米量级交替沉积形成多层结构时,由于一沉积层的"模板"效应,另一沉积层可以形成非平衡相并在一定的厚度范围内稳定存在.本文的研究发现,在纳米多层膜中,不但存在使非晶层晶化的模板效应,而且,由此效应形成的晶体层亦可对模板层的晶体生长起到促进作用.

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