热对流式双轴加速度传感器及其在消费类电子产品中的应用

作者：颜重光消费类电子产品双轴加速度传感器应用对流式mems传感器加工工艺设计半导体技术电路集成信号处理生产成本

摘要：以半导体技术和微机电加工工艺设计、制造的MEMS传感器，困其集成度高，并可与信号处理电路集成在一起，从而大大降低了生产成本，已经在汽车、消费和通信电子领域得到了广泛的应用。

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