TFT可采用液态硅旋转涂布工艺生产

多晶硅tft工艺生产液态硅涂布精工爱普生公司化学气相沉积薄膜晶体管硅薄膜成形工艺

摘要：精工爱普生公司（Seiko Epson）与JSR公司共同开发了一种采用液态涂布和喷墨成形工艺的硅薄膜。这种硅薄膜是一种低温多晶硅TFT（薄膜晶体管），其性能可与采用传统CVD（化学气相沉积）方法生产的薄膜相媲美。这种新型材料是一种氢和硅的高级硅烷混合物，它可以被有机溶剂溶解。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社