石英晶体振荡器石英振荡器mems时钟器件封装方法压电特性工业标准频率源
摘要：石英具有非凡的机械和压电特性，长期以来一直作为基本的时钟器件，在精确频率源器件中占据主导地位。然而，石英振荡器也有许多缺点，包括不能集成到硅圆晶上，缩小尺寸相应提高了成本，非工业标准的制造和封装方法，对热、冲击和振动敏感，特别是一种封装只对应一种频率。因此，业界习惯于使用石英振荡器后，任何在不牺牲性能的情况下克服这些缺点的努力都是徒劳无功的。所以，人们也一直在寻找一种能替代石英晶体振荡器的器件。
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