作者：王森; 向超; 陆素先; 钟传杰超级结功率器件电荷平衡mos管
摘要：在现代功率器件中,为了提高功率器件的击穿电压,降低导通电阻,超结结构得到广泛的应用。为了降低器件工作时的导通电阻,增大电流的流经面积,降低J-FET效应,在功率器件的制造生产中,超结区中相互交叠的P柱和N柱,它们的掺杂浓度和设计尺寸并不能做到完全的相同。所以,当P柱或N柱的尺寸改变后,如果不进行超结区中N柱和P柱的掺杂浓度进行修正,将会导致超结区中出现大量的不平衡电荷,这些不平衡电荷将会严重影响超结的性能。本文在现有的结论下,以对称非理想超结为基础,提出一种对超结区内梯形PN柱掺杂浓度的修正方法,并针对这种方法对非理想对称超结和非理想非对称超结进行仿真验证,证明了该方法的适用性。
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