作者：金琦; 孙晓峰; 李广恒; 李斌; 王静压力传感器温度性能产品技术要求集成电路工艺特种车辆车辆发动机soi材料静态性能
摘要：1.引言车辆发动机进气歧管内压力,通过专用的压力传感器测量,并通过放大电路将其转换成标准电压信号,传输到车辆控制系统,从而达到控制喷油量的作用,保证发动机正常工作。该压力传感器的核心芯片采用SOI材料,利用微电子技术和集成电路工艺结合制作,并且静态性能和温度性能均满足产品技术要求;在产品结构方面,采用全固态、硬密封、小型化设计,使产品满足特种车辆高强度环境适应性的要求。
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