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基于质量流量控制器的智能配气仪及多态配气平台设计开发

作者:江信海质量流量控制器平台设计配气多态开发智能气体浓度组分浓度

摘要:针对气体组分浓度分析装置及相关产品对不同气体浓度的大量需求,本文设计开发智能气体配气仪及多态配气平台(以下简称平台),该平台采用上下位机组成方式,上位机完成多态组分浓度及相关配置,下位机输出相应组分浓度,由于使用质量流量控制器作为配气部件,所以不受压力及温度影响,输出浓度稳定,精度高。

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电子世界

《电子世界》(CN:11-2086/TN)是一本有较高学术价值的大型半月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《电子世界》全方位推崇E时代大众电子科学意识,传播电子与信息领域的新知识、新技术,发表最新科研成果和展示技术进展状况,始终注重扶持学术新人,尤其关注广大青年科技工作者,优先发表理工科青年教师和研究生中的优秀学术稿件。

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