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声学扫描技术在高可靠领域塑封器件检测中的应用

作者:李永正; 党炜; 李昕昕; 张泽明塑封器件缺陷研究超声波扫描检测标准可靠性

摘要:为了提高塑封器件在高可靠应用领域的可靠性,需要使用扫描声学显微镜检测塑封器件内部界面分层、空洞和裂纹等缺陷。介绍了扫描声学显微镜的工作机理和几种主要扫描模式。综合分析了大量检测实例,指出塑封器件内部典型缺陷的特点和辨别方法,对扫描声学显微镜在塑封器件无损检测方面具有参考意义。此外,对现行的扫描声学显微镜检测塑封器件的检测标准提出了改进建议。

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电子器件

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