作者：郭林 黄风义 唐旭升角锥喇叭天线微电子机械系统氢氧化钾刻蚀
摘要：提出了一种太赫兹（THz）天线结构：基于MEMS工艺的THz角锥喇叭天线。采用电磁场仿真软件Ansoft HFSS 11对所设计的天线进行仿真,结果表明该天线在2.5 THz～3.5 THz范围以内具有回波损耗优于-25 dB,增益大于15 dB的良好特性。天线可以通过MEMS工艺（硅基KOH刻蚀）制造,具有加工费用低的优点,适用于THz雷达,通信和成像系统等太赫兹系统。
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