通用工艺微细加工技术子徽工艺研究体硅激光加工技术工作原理外延生长电子束蒸发固体电子学
摘要：<正> 0502950磁悬浮转子徽陀螺的微细加工工艺研究[刊,中]/吴校生//微细加工技术.—2004,(1).—68-72(D)介绍了磁悬浮转子徽陀螺的工作原理及有关的微细加工工艺。磁悬浮转子微陀螺的平面线圈是采用光刻、电镀及溅射等微细加工方法来实现的,微转子的加工有冲压、蒸铝沉积等方法,其中冲压能得到质量较好的微转子;上壳体采用体硅腐蚀来制作。初步的实验表明该方案是行之有效的。参9
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