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射频微系统2.5D/3D封装技术发展与应用

作者:崔凯; 王从香; 胡永芳射频微系统硅通孔圆片级封装热管理

摘要:2.5D/3D封装技术是满足未来射频系统更高集成度、更高性能、更高工作频率需求的主要手段。文中介绍了目前微系统2.5D/3D封装技术的发展趋势及硅通孔(TSV)、微凸点/铜柱、圆片级封装等先进的高密度封装技术,并关注了2.5D/3D封装技术在射频微系统领域的应用及挑战,为射频微系统集成封装技术研究提供参考。

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电子机械工程

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