作者：徐永庆; 张斌珍; 段俊萍; 肖红; 林雪晨; ...柔性天线单极子天线共面波导pdms剥离工艺
摘要：设计了一种小型超宽带共面波导(CPW)馈电的MEMS单极子柔性天线,具有结构简单、质轻、易集成、可柔性弯曲的特点。该天线采用了具有高柔弹性和良好的自我恢复性的PDMS材料为介质基板,在柔性基板一侧设计了圆盘状的金属辐射结构,采用了CPW结构与天线集成于基板同一侧。实验中,验证了氧等离子刻蚀与SDS联合处理的方式能有效改善光刻胶与PDMS表面的粘附效果,并分别基于AZ6130胶、RZJ304胶、AZ5214E胶在PDMS柔性基底上利用金属剥离工艺制作了该CPW馈电的MEMS单极子柔性天线,对比了基于不同光刻胶制作的天线性能及剥离制作难度。该天线的频带为3.3GHz~5.0GHz,阻抗匹配良好,辐射方向性稳定,可适用于5G通信系统,亦为柔性天线的研究提供了参考。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
