IC工厂电力需求特点及配电设计中需要注意的几个问题

作者：宋晓波ic工厂制程设备用电特点配电设计

摘要：本文结合笔者在IC工厂十几年的工作经验，从具体工厂运行者的角度，以一个8″IC工厂的实际用电需求为例，介绍其装机总容量、最大负荷、需用系数等实际使用信息及电力需求特点。同时，结合IC工厂特点，介绍了其专业制程设备的布置及用电特点。最后，笔者就IC工厂的配电设计给出一些具体的建议，如应急电源系统的选择方法、低压配电盘形式的选择方法等等。

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