集成气体传感器概述

作者：梅娜金属氧化物钯栅场效应晶体管半导体二极管

摘要：—气体传感器在人类生产生活中扮演着重要的角色，尤其是在安全领域它现在已经是必不可少的。根据工作特性的不同，气体传感器可以分为半导体型，电化学型，光化学型，天然与仿生型，以及其他类型。本文简述了集成气体传感器的特性和种类，并挑选了其中比较有代表性的金属氧化物半导体气体传感器、钯栅场效应晶体管气体传感器和半导体二极管气体传感器做以详细叙述。

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