电子工业专用设备杂志部级期刊

电子工业专用设备 2019年第03期杂志 文档列表

电子工业专用设备杂志半导体制造工艺与设备

籽晶偏向对高纯半绝缘4H-SiC晶体影响的研究第1-3页

关键词: 籽晶；  晶片缺陷；  结晶质量；  电学性能；  

光刻机物镜主动阻尼接口设计及测量系统布局第4-8页

关键词: 光刻机；  主动阻尼接口；  测量系统布局；  

龙门式机床基础件的设计与分析第9-12页

关键词: 龙门式机床基础件；  有限元分析；  模态分析；  

全自动硅片下料机碎片分析与优化设计第13-16页

关键词: 全自动硅片下料机；  碎片分析与处理；  结构优化；  

硅晶片激光标识工艺参数的研究第17-19页

关键词: 激光标识；  激光功率；  频率；  打标速度；  

一种主动隔振系统速度传感器信号控制器设计第20-24页

关键词: 主动隔振装置；  信号调理；  速度传感器；  低频扩展；  

基于MVC架构的CMP软件模块开发研究第25-28页

关键词: 化学机械抛光；  软件设计方法；  

无线射频识别技术在CMP设备中的应用第29-32页

关键词: 无线射频识别；  化学机械抛光；  数据读写；  射频标签；  

金刚线在硅晶体切割领域的应用研究第33-36页

关键词: 金刚线；  超精细；  损伤层；  碎片率；  

电子工业专用设备杂志先进封装技术与设备

扇出型芯片键合设备开发思路及整机框架结构设计与仿真第37-41页

关键词: 扇出型芯片；  键合设备；  内外部世界架构；  

论扫描声学显微镜在电子封装中的应用第42-45页

关键词: 扫描声学显微镜；  气孔；  分层；  

加热吸附平台表面翘曲问题研究第46-49页

关键词: 有限元分析；  加热吸附平台；  热变形；  

消除SOT产品压筋的方法第50-55页

关键词: 切筋打弯；  压筋；  

全自动涂胶设备及涂胶工艺的研究第56-59页

关键词: 涂胶腔体；  机械手；  涂胶工艺；  

电子工业专用设备杂志电子专用设备研究

基于STM8单片机激光控制器的设计第60-62页

关键词: 激光器；  激光控制器；  单片机；  接口；