作者：周小荣; 邱昊; 明亮; 刘文峰; 段金刚; 陈...多晶硅锭多线切割改善方法切割能力
摘要：从改善砂浆切割性能出发,研究了砂浆物理性质、剖方后小方棒尺寸及线痕比例随着切割刀数的变化趋势,分析了相关原因,最终得到多晶硅锭剖方的工艺方法,即：砂浆更换方式采用整缸更换,并且切割工艺采用变速切割;增大砂浆流量;采用改善办法可以有效提高好砂浆的切割能力,得到更好的切割效果。
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《电子工业专用设备》（CN：62-1077/TN）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《电子工业专用设备》其宗旨是：坚持四项基本原则、贯彻“双百”方针，报导国内外电子专用设备在科研、生产中具有先进水平的科研成果，学术动态等，为促进学术与技术交流和提高我国电子专用设备科研生产水平服务，它是我国电子专用设备行业创刊最早、且唯一全面报导各类电子专用设备的刊物，在国内外影响日益扩大，读者遍布全国。
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