作者：杨春颖; 吕菲notch槽晶向偏离度
摘要：在半导体材料加工过程中，Notch槽定位的精确度对后续加工成品率及最终产品性能有着重要的影响．准确测量Notch槽晶向显得尤为重要。主要介绍了利用X射线定向仪测试硅片Notch槽晶向的原理及方法。
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《电子工业专用设备》（CN：62-1077/TN）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《电子工业专用设备》其宗旨是：坚持四项基本原则、贯彻“双百”方针，报导国内外电子专用设备在科研、生产中具有先进水平的科研成果，学术动态等，为促进学术与技术交流和提高我国电子专用设备科研生产水平服务，它是我国电子专用设备行业创刊最早、且唯一全面报导各类电子专用设备的刊物，在国内外影响日益扩大，读者遍布全国。
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