作者：李霖 周庆奎 宫晨曝光机曝光方式曝光工艺必要性
摘要：不同的曝光方式适应不同的曝光工艺，对接触接近式曝光机的曝光方式进行了研究，分析了不同曝光方式适用的场合。并给出了一个通过改进曝光方式实现曝光工艺的成功实例，进一步证明了将产品生产工艺知识融入到半导体设备设计研发过程中的必要性。
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《电子工业专用设备》（CN：62-1077/TN）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《电子工业专用设备》其宗旨是：坚持四项基本原则、贯彻“双百”方针，报导国内外电子专用设备在科研、生产中具有先进水平的科研成果，学术动态等，为促进学术与技术交流和提高我国电子专用设备科研生产水平服务，它是我国电子专用设备行业创刊最早、且唯一全面报导各类电子专用设备的刊物，在国内外影响日益扩大，读者遍布全国。
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