纳米压印步进机晶圆纳米光学纳米电子学特征图形高分辨率光刻机
摘要：EVG公司推出EVG770 Gen II步进机，一种新型旗舰解决方案．纳米压印光刻机（NIL）。实现一种独特的分步重复压印方法，EVG770 Gen II解决了大面积光学用途和高分辨率纳米光学及纳米电子学特征图形的复制。
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《电子工业专用设备》（CN：62-1077/TN）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《电子工业专用设备》其宗旨是：坚持四项基本原则、贯彻“双百”方针，报导国内外电子专用设备在科研、生产中具有先进水平的科研成果，学术动态等，为促进学术与技术交流和提高我国电子专用设备科研生产水平服务，它是我国电子专用设备行业创刊最早、且唯一全面报导各类电子专用设备的刊物，在国内外影响日益扩大，读者遍布全国。
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