作者：戴瑜兴; 汤睿; 张义兵; 蒋近多线切割半导体加工集成电路制造技术数控机床张力控制
摘要：数控多线切割技术实现了集成电路制造技术的跨越式发展，已成为数控机床制造技术及集成电路制造技术的重要标志，引起了发达国家的广泛重视。论述了数控多线切割技术的特征；介绍了我国自行研制的XQl20和XQ300系列数控多线切割机床并与国外产品进行比较：指出了开发大型数控多线切割机床的技术难点；阐述了我国研发具有自主知识产权的大型数控多线切割机床设备的必要性。
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