作者：李东升高纯气体纯化输送系统微量污染
摘要：从系统设计角度,论述了电子级高纯气体输送系统的主要设备,气体纯化器选型,输送管道、管件和阀门的材料和型式,安装施工验收的技术指标,以及微量污染的来源及控制措施等.
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《电子工业专用设备》（CN：62-1077/TN）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《电子工业专用设备》其宗旨是：坚持四项基本原则、贯彻“双百”方针，报导国内外电子专用设备在科研、生产中具有先进水平的科研成果，学术动态等，为促进学术与技术交流和提高我国电子专用设备科研生产水平服务，它是我国电子专用设备行业创刊最早、且唯一全面报导各类电子专用设备的刊物，在国内外影响日益扩大，读者遍布全国。
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