前端栅极半导体晶体管rtp极线规格发展现状技术展望
摘要：RTP(快速热处理)技术 热处理是晶体管细微化中的一项重要技术.按照ITRS的技术进展,降低各热处理工序的热存积要求越加严格.65nm之后的加工中引入了高K栅极绝缘膜及金属栅电极材料,对极线扩散层的生成只用以往RTP的热处理在技术上就很难满足ITRS提出的规格了.
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