用于光交换应用的MEMS静电执行器

光交换mems静电执行器微加工技术光通信系统光开关设计开关性能

摘要：微加工技术正被人们用来加工满足光通信系统要求的各类器件.在采用自由空间光学原理的器件中,针对交换、滤波和可调式衰减等应用的器件需要能实现较大的直线或角偏移的执行器(Actuator).虽然有人建议采用基于表面微机械加工方法的器件,但对很多应用来说,执行器很难实现足够的直线或角度偏转,特别是当需要避免元件之间的摩擦接触时.

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社