作者：邢维巍; 孙璐; 樊尚春石墨烯谐振器激励检测谐振式传感器
摘要：谐振器是谐振式传感器的核心元件,而谐振式传感器由于其优良的重复性、分辨力和稳定性,广泛被应用于航空航天事业。随着技术发展,适用于航空事业的谐振器朝着体积小、质量轻、精度高、品质因数高的方向不断发展。但由于谐振材料本身以及加工工艺的限制,传统硅谐振器发展已进入瓶颈期。石墨烯材料具有着优异的机械、电学、光学性能,使其成为新型谐振器研究的热门材料之一。而确定激励检测方法是石墨烯谐振器结构设计第一步。介绍了石墨烯谐振器现有的理论及实验研究成果,并针对现有的谐振器激励检测方法其优缺点,是否适用于石墨烯谐振器进行了分析。其次,对现有的石墨烯谐振器实验中的激励检测方法进行了综述,并对之后的研究方向进行了展望。
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