功率半导体keithleys540测试系统晶圆级测试解决方案氮化镓高压测试参数测试为高吉时利
摘要：全自动高速晶圆级参数测试解决方案面向最新的功率半导体器件,包括高达3kV的SiC和GaN2016年10月27日,泰克科技公司日前推出Keithley S540功率半导体测试系统,这是为高达3kV的功率半导体器件和结构提供的一种全自动48针参数测试系统。全集成S540是为用于最新复合功率半导体材料而优化的,包括金刚砂（SiC）和氮化镓（GaN）,可以在一个探头接入中执行所有高压测试、低压测试和电容测试。
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