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双面金属铝包覆介质波导测量介质厚度和折射率

作者:费彬城 陈良雷 陈余行 朱鹏飞双面金属波导折射率超高阶模耦合

摘要:利用双面金属铝包覆波导的测量方法,测量了硅片的厚度和折射率。这种方法利用双面金属铝包覆波导的超高阶模的偏振不灵敏和对金属层要求较低的特点,降低了对仪器的要求和测量的成本。同时,由于应用高灵敏的超高阶导模为探针,测量精度较高,结果显示测量精度在1%以内。

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大学物理实验

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