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HCl电子气体超纯纯化技术研究

作者:叶向荣; 刘华平; 黄明星; 钟军; 张坚文; ...纯化材料纯化器氯化氢深度除水吸附滞留

摘要:道了负载型超纯纯化材料及实验纯化器自主研发进展。通过超纯纯化,5NHCl电子气体中的水分,可由10-6(体积分数)级降至100×10-9(体积分数)以下,且重现性良好,水分最低降至12×10^-9(体积分数);纯化过程不额外释出痕量的挥发性金属杂质,对HCl中的多数金属杂质有吸附滞留作用。

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低温与特气

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