制备装置钨制品化学气相沉积装置北京理工大学特种加工技术尾气处理装置特种气体超高纯度
摘要：申请（专利）号：201710689624.2公开（公告）日：2017-12-08申请（专利权）人：北京理工大学中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司摘要：本发明涉及一种钨制品的制备装置及方法,特别涉及超高纯度、超高致密度的高端钨制品工业化绿色制造装置及工艺,属于难熔金属特种加工技术领域。本发明的装置通过电解制气装置、氟化装置、化学气相沉积装置和尾气处理装置构成封闭循环.
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