作者：孙福楠; 于大秋硅烷乙硅烷二氯硅烷一甲基硅烷二甲基硅烷三甲基硅烷羰酰氟三氟化氯三甲基硼高纯度丙烯
摘要：对我国半导体生产过程中几种主要特种气体的现状进行了回顾,指出了我国超纯电子气体国产化过程中存在的问题。
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《低温与特气》（CN：21-1278/TQ）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《低温与特气》主要报道低温与制冷技术，以及特种气体技术，同时承接广告业务。设有综述评论、工艺与设备、特气设备、应用技术、分析与测度、低温材料、安全技术、低温容器、经验交流、消息报道、文献消息等栏目，以技术性、实用性内容为主，面向实际，并有部分理论探讨内容。
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