专利技术sicl4生产方法摩尔配比多晶硅工艺线光伏技术生产原料
摘要:本发明涉及太阳能光伏技术领域,公开了一种多晶硅生产方法及其装置。本发明中,包含两条工艺线,工艺线I:SiCl4和H2按一定摩尔配比,生成硅Si和氯化氢HCl;工艺线II:Si—HCl3和H2按一定摩尔配比,生成Si、HCl和SiCl4。由于直接利用副产物SiCl4作为生产原料,降低了多晶硅生产原料成本,同时解决了多晶硅生产副产物SiCl4处理费用高,难度大等问题,进一步有效降低了多晶硅生产厂家的生产成本。
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