作者：罗云 陈晓怀 谢远来不确定度抽速抽气性能低温泵
摘要：抽速是决定低温泵抽气性能的关键参数，高质量的抽速测试结果可有效指导低温泵的工程设计与实验运行。介绍了低温泵抽气性能测试平台的组成和抽速测量的基本原理，分析了压力和充气量的不确定度分量来源，研究了各不确定度分量的估计与合成，确定了低温泵的抽速测量不确定度，给出了抽速测量结果的完整表述，探讨了降低抽速测量不确定度、提高测量结果质量所采取的措施。研究结果对合理配置低温泵抽气性能测试平台、优化实验方案、提高抽速测量结果可靠性有指导意义。
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