作者：邱旸; 熊杰; 陶伯万ybco超导薄膜mgo高温退火
摘要：在2英寸MgO（001）单晶基片上，采用直流溅射法，通过基片高温退火，成功制备了性能优越的YBa2C3O7-δ（YBCO）双面超导薄膜，能够满足超导滤波器的设计要求。X射线衍射（XRD）分析表明经过退火的基片上生长的YBCO薄膜与基片有单一的外延取向关系；用原子力显微镜（AFM）和高能电子衍射（RHEED）分析高温退火对基片表面状况的改变。结果表明制备的YBCO薄膜具有很好的超导电性，薄膜临界电流密度Jc（77K，0T）≈2．5×10^6A／cm^3，微波表面电阻Rs（10GHz，77K）≈0．16mΩ。
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