作者：汪开龙石墨烯纳米机械振子微纳加工工艺耦合强度协同系数强耦合
摘要：与微米机械振子相比,纳米机械振子使用纳米级材料制备,尺寸更小,质量更轻,它作为探测器,在探测力、质量等物理量时拥有更高的灵敏度.石墨烯有高强度、低密度等优良的机械特性,被认为是制备纳米机械振子的理想材料.基于其制备的石墨烯纳米机械振子有着高谐振频率、高品质因子和谐振频率可调性高等优势,对于纳米力学的基础研究和应用都具有重要的意义.本文利用微纳加工工艺(包括电子束曝光、电子束蒸发镀膜、反应离子刻蚀和微米级定点干法转移技术)制备了串联石墨烯纳米机械振子样品,并在极低温下(10mK)测量了石墨烯机械振子的机械性质,实现两个串联石墨烯纳米机械振子的强耦合,耦合强度为1.34MHz,协同系数C=399.
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