作者:徐兵; 王雪辉; 陈林森; 魏国军迭代傅里叶算法激光直写光束整形二元光学元件光刻
摘要:利用迭代傅里叶算法优化得到了特定衍射图样的位相结构,分析讨论了采用单光束激光直写系统进行逐点光刻制作2个台阶二元光学元件位相掩模的基本原理,并给出了实验结果和实验误差分析,从而为发展一种制作周期短、成本低,且无对准误差的二元光学元件的制作方法提供了一种可能.
注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社
《大气与环境光学学报》(CN:34-1298/O4)是一本有较高学术价值的大型双月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《大气与环境光学学报》主要报道国内外大气光学和环境光学领域基础研究和应用基础研究方面的最新进展与成果,重点栏目为进展与综述、大气光学、海洋光学、空间光学、环境光学与环境光谱学、遥感等。
省级期刊
人气 238663 评论 36
人气 154361 评论 33
人气 152044 评论 53
人气 123402 评论 54