作者：高爱华; 刘卫国; 周顺pecvd温度控制可编程控制器触摸屏冗余设计
摘要：介绍了等离子体增强化学气相沉积系统（PECVD），研究分析了基于PLC和触摸屏的系统温度控制方法。该方法提高了PECVD系统的自动化控制水平，确保了工艺的重复性和稳定性。
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