作者:林泽; 陈静; 罗杰馨; 吕凯射频电感建模可扩展拓扑结构
摘要:随着射频集成电路空前发展,电感作为射频电路中重要无源器件应用越来越广.目前其仿真模型应用频率范围较窄并且仿真结果与测试结果拟合较差.本文提出了基于0.13μm SOI CMOS工艺的片上螺旋电感修改模型.模型采用了1-π等效电路,包含有表征衬底涡流的RL并联网络并且改进了由趋肤效应引起的金属线圈中涡流的表征.利用数理统计中的回归分析方法,得到扩展模型参数的表达式.制备了13种不同尺寸的片上螺旋电感用于验证模型.本文提出的方法,对不同尺寸的电感在频率达到自谐振频率以上的行为提供了更好的电路解释.
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