作者：孙希鹏; 李晓东; 杜永超; 肖志斌离子源辅助太阳电池减反射膜
摘要：在无烘烤条件下,使用离子源辅助沉积技术进行空间用三结砷化镓太阳电池(GaInP/GaInAs/Ge)的减反射膜沉积。对比不同离子源参数下的减反射膜薄膜折射率、太阳电池表面反射率、短路电流及转换效率增益,分析出当阳极电压为150~180 V、束流为5~6 A 时可获得较好的增益效果。通过太阳电池外量子效率测试发现,由辅助沉积粒子所引起的电池结构损伤主要表现为顶结电池的光谱响应下降。
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