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首页 期刊 大功率变流技术 IGCT器件制造中的阴极梳条成型技术【正文】

IGCT器件制造中的阴极梳条成型技术

作者:张明igct梳条硅刻蚀旋转喷射腐蚀

摘要:概述了电子器件中的各种硅刻蚀技术,提出了新的旋转喷射硅腐蚀方案,对2种酸腐蚀挖槽方法进行了试验对比。新方法应用于集成门极换相晶闸管(IGCT)器件的梳条成型工艺,获得精密的阴极图形,器件的开关性能优良。

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大功率变流技术

《大功率变流技术》是一本有较高学术价值的大型双月刊,读者对象主要为从事变流技术、电传动与控制自动化领域研究和开发的科研人员,企业领导和管理人员,以及大中专院校相关专业的师生,行业涉及交通(包括铁道交通、城市轨道交通、电动汽车等)、电力、冶炼、矿业开采、军工等。自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度,颇受业界和广大读者的关注和好评。 《大功率变流技术》杂志已正式更名为《控制与信息技术》杂志。

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